1956年，由周恩来总理亲自主持的我国《十二年科学技术发展愿景规划》中，半导体科学技术与发展计算技术、无线电子学、自动化与远距离操纵技术被列为当时国家新技术四项“紧急措施”之一。[深圳星宇佳科技]

一边是政策指引，一边就要加紧相关人才培养。高等教育部为落实加快发展我国半导体科学技术事业，尽快培养半导体专门人才的紧急措施，决定在北京大学成立由北京大学、复旦大学、南京大学、厦门大学和东北人民大学（现“吉林大学”）组成的中国第一个五校联合半导体专业，由黄昆任教研主任，谢希德任教研副主任。

为了创建中国半导体科学技术的研究发展基地，国家于1960年9月6日在北京成立中国科学院半导体研究所（下文“半导体所”均指向中科院半导体研究所），开启中国半导体科学技术的发展之路。

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缘起·游子归国

追根溯源，我国半导体科学的拓荒工作应该是起源于20世纪50年代初。

在1950—1952年，那时的中国刚刚从战乱中脱身，大大小小的科研领域都处于百废待兴的状态。在国内殷殷切切的呼唤声中，一批又一批留学生放弃国外优渥待遇，突破层层阻拦，从世界各地奔回祖国，投入到中国的科学产业建设之中。其中就包括未来中科院半导体所的泰斗王守武、黄昆、林兰英等人。

最先回到中国的是王守武。[深圳星宇佳科技]

王守武出生于学术世家，和弟弟王守觉是后来中科院有名的“兄弟院士”，被大家亲切称为“大王”先生和“小王”先生。王守武从小体弱多病，虽然成绩非常优异，可因身体缘故，从小到大一直与顶尖学校失之交臂。从同济大学毕业后，王守武家人为他筹集学费，进入美国普渡大学继续读书，取得工程力学硕士学位和物理学博士学位。

1949年10月1日，新中国诞生的喜讯传到了大洋彼岸的王守武耳朵里。没有多想，王守武立马踏上了回乡的旅程。

“回国的时候我没有什么打算，想为国家搞点建设，做点贡献。”王守武后来回忆道。

1950年秋，王守武回国后，将半导体作为研究方向。

王守武

紧接着没过多久，汤定元也从美国启程，踏上回国之路。

相比于王守武求学路的艰难，汤定元的路明显顺畅许多。在中学期间偶然翻阅到《固体物理学》一书，决定了汤定元一生专注的方向。1938年，汤定元考入重庆中央大学物理系。1948年赴美留学，先进入明尼苏达大学物理系，后进入芝加哥大学。2年后，在芝加哥大学获得物理学硕士学位。本来可以继续攻读博士学位，但汤定元为了尽快回国，参与祖国建设，他放弃在芝加哥大学攻读博士学位的机会，于1951年的初夏，踏上了回国的旅程。[深圳星宇佳科技]

回国后，汤定元也选择半导体物理作为自己的学术追求。他和王守武与新来的本科生廖德荣、周帅先4人，组成以王守武为组长的“半导体研究组”，开始研究硫化铅、氧化亚铜等半导体。

汤定元

时间在慢慢流逝着，回国的学子一批接着一批。1951年秋，黄昆回国；1952年，洪朝生回国。洪朝生在美国曾做过锗在低温下的电学测量，提出过杂质导电带的概念，回国后在应用物理所建设低温实验室。黄昆本就在英国专注于固体物理领域，自然对半导体并不陌生。

由于他们对于新兴的半导体科学的重要性有着共同的认识和追求，王守武、汤定元、黄昆、洪朝生四人渐渐熟络起来。他们四人在1953年合作译出由俄国人撰写的《近代物理学中的半导体》一文，并在1955年出版。[深圳星宇佳科技]

1955年—1956年，高鼎三、成众志、吴锡九等人相继归国。他们的到来壮大了我国半导体科学拓荒的队伍，为后来中科院半导体所成立提供了优质的人才基础。

1957年，林兰英回国。此前林兰英在索文尼亚（）公司专门研究半导体物理，与单晶材料结下了不解之缘。

回国后，林兰英和王守武通力合作，一个设计制作单晶炉，一个研究、指导锗单晶的拉制工艺。1957年11月，我国第一根锗单晶终于拉制成功。一年时间，林兰英和王守武再度携手，于1958年年底成功拉制出我国第一根单晶硅。

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建立·中国半导体科研之路开启

1960年9月，经国家教科委批准，以原应用物理所半导体研究室为基础，扩建成立中国科学院半导体研究所，宋之春任所长，王守武任副所长。

半导体所成立后，中国半导体发展速度空前迅速。原本中科院物理所半导体研究室的许多工作人员也一并转到中科院半导体所继续工作。中国半导体历史上许多“首个”“第一”就在这一时期诞生。

王守觉和王守武哥俩共同参与了我国第一支晶体管的研制。由于王守觉不是博士，连出国留学经历也没有。他被所里派往苏联科学院实习。回国后，短短几个月时间，王守觉就把研制晶体管的频率提高了2个数量级。他还负责研制我国第一支100兆赫以上的高频晶体管，解决了当时“两弹一星”计划中计算机急需的晶体管问题。

1963年、1964年王守觉接连获得国家级奖项。1965年王守觉研制出中国第一块固体电路，由国家拨款100万发展基金。此时中科院半导体所的队伍已壮大到300多人。

那个时候的王守觉可谓“红得发紫”。听说有一次半导体实验室失火，王守觉奋勇救火，获得“救火英雄”的称号。而且因祸得福的是，大火把他脸上的雀斑烧没了，从火灾中恢复过后，整个人看起来俊逸舒朗极了！[深圳星宇佳科技]

王守觉

弟弟王守觉成就满满，哥哥王守武在半导体科研方面同样进展多多。自从锗、硅半导体单晶材料和晶体管在半导体所相继问世后，半导体材料与器件工业在全国如雨后春笋般地发展起来。1962年，王守武依据国家科委的决定，在半导体所筹建全国半导体测试中心，并兼任该中心主任。他领导并参与了对半导体材料的电阻率、少数载流子寿命以及锗晶体管频率特性的标准测试方法的研究，建立了相应的标准测试系统。测试中心建成后，很快承担起全国半导体材料与器件的参数测试中的仲裁任务。[深圳星宇佳科技]

除了测试中心，他还筹建了半导体激光器研究室，并于1964年，成功制造出我国第一支半导体激光器。此后，王守武指导并参与激光通讯机和激光测距仪的研制工作。时隔不久，我国第一台激光通讯机诞生了，有力支援了我国国防现代化建设。

当时的半导体所除了业界大牛，也不乏许多优秀后生，例如王启明、吴德馨、郑厚植、梁骏吾等未来中国半导体领域的领军人物。他们正值20多岁的青葱年华，绝大部分都是刚刚走出校门，转身就投入到半导体科研的领域当中了。

王启明是这群年轻人中的佼佼者。不过这位中国半导体科研事业先驱之一的童年生活却悲惨异常。

王启明

1940年，抗日战争全面爆发后，日本对中国实施细菌战。6岁的王启明一家遭遇鼠疫、霍乱，父母和弟弟在三个月内先后去世。他和哥哥到处流亡，吃过救济饭，还差点被承天寺的道淳大师收为弟子。

后来王启明和哥哥投奔同样一贫如洗的姑妈，他被姑妈许给一家姓王的地主人家当养子，这才开启了王启明的求学之路。

王启明在复旦大学物理系毕业后，直接分配到应用物理研究所半导体室，从事半导体材料研究。他和从美国归来的洪朝生和林兰英共事，同学们艳羡不已。

1960年半导体所成立后，王启明也顺理成章的成为该所的第一批成员。他也是王守武牵头“全国半导体测试中心”组织建设工作的骨干成员之一。

正当中科院半导体所奋起直追国际领先技术标杆时，20世纪60年代后期来临，半导体所的研究工作不得不就此搁置。

重生·半导体所的搬迁与扩张

20世纪70年代末，当时邓小平同志提出“科学技术是第一生产力”“我愿意当科研工作的后勤部部长”等时代强音，揭示了中国将再次进入科学的春天。

邓小平同志通过邓楠（当时在半导体所工作）了解到半导体所的具体情况后，为半导体所的发展做出了两项重要决定，一是迁建半导体所，二是将北大黄昆教授调到半导体研究所任所长。

半导体所迁建工程于1979年破土动工，并被列为北京市重大工程。1985年底，一个崭新的半导体研究所正式落地，而且还额外组建了两个国家级研究中心、三个国家重点实验室和一个院级开放实验室。半导体所的工作再次如火如荼开展起来。

一边新的半导体所新址正热火朝天地建设着，一边半导体旧址里又在不断产出新的科研技术。1978年春，林兰英领导的高纯高电子迁移率的砷化镓汽相和液相外延单晶地制备纯度及电子迁移率均达到国际先进水平。一年左右时间，她又带领半导体所的同事们攻克大规模集成电路的难关。[深圳星宇佳科技]

80年代初，林兰英和王守武再度合作，带领半导体所的中青年科技人员，成功研制我国16千位N沟硅栅MOS随机存贮器，经鉴定达到国际先进水平。此时，二位先生已过花甲之年。

林兰英

1985年，同样是花甲之年的黄昆先生卸任半导体所长一职，接替的人是王启明。不过王启明相比黄昆先生的爽朗幽默，他看起来实在是不善言辞。

不过事实证明，王启明在任的这10年里，他中科院半导体研究所管理得有声有色、井井有条、成果频出。

尤其是敲定半导体所“一所两制三实体”的科研模式，即在半导体所全民所有制不变的条件下，在经营管理上，实行事业管理制和企业经营制，全所由联合研究中心、新技术开发中心、技术与条件服务公司三个实体组成。

同时还提出以“材料为先导，物理为基础，器件与应用为突破口”的指导方针，逐渐形成以基础和应用基础研究、材料、光电子器件和集成技术为主，直到建立高技术产业的一条龙体系。

1981年的半导体所迎来了一位三十多岁的年轻人——朱邦芬。他和黄昆先生共处一间办公室，二人每天早上开始上班之前，总要一起讨论交流1个小时。为了一个学术问题，两个人总是要争来争去。如果今天朱邦芬说服了黄昆先生，黄昆先生睡一晚上起来觉得说的不对，第二天二人在办公室接着争论。朱邦芬和黄昆忘年交成为后人传诵的一段佳话。

在半导体所里，朱邦芬和黄昆先生一起确立了半导体超晶格光学声子模式理论，被国际学术界称为“黄-朱模型”。

朱邦芬

奋进·一直在路上

世纪的钟声敲响，中国迈入了21世纪。

2001年，为表彰黄昆院士在固体物理学领域所作出的杰出成就和贡献，黄昆院士被授予2001年度国家最高科学技术奖的殊荣。不过彼时的黄昆身体状况已是摇摇欲坠，于2005年7月6日与世长辞。

黄昆与郑厚植院士（左一）、夏建白院士（右一）

21世纪初期，数位曾在中科院半导体研究所工作过的科研先驱们纷纷驾鹤西去，中国半导体的明星一颗颗黯淡。

但这片黑夜却比以往更加明亮，因为无数颗星星散发出微弱但坚定的光芒，引领着中国半导体事业向前迈进。

中科院半导体研究所目前科技人员约480余名，包括中国科学院院士9名，中国工程院院士2名，高层次引进人才计划30人，国家“万人计划”入选者6人，国家杰出青年科学基金获得者20人。

半导体事业是从零到一，再从一到一百。从零到一的难题，拓荒者们已经替我们解开。而从一到一百的过程，是积累、是量变、是一步一个脚印。科学之路，会有荆棘、也有泥泞。科学工作者的可贵品质，是探索者的勇气，是一往无前的精神。半导体所的前人与后人，怀着为国争光、为民族争取的雄心壮志，在一次次崇山峻岭、围追堵截中，结出饱满坚实的科技之果。

以上所有图片均来源于中科院半导体研究所综合档案室

参考文献：

[1]丁以山.王守武：做强“半导体”[J].创新世界周刊,2021(08):72-73.

[2].中国半导体研究的“拓荒者”——记1979年全国劳动模范、中国科学院院士王守武[J].工会博览,2019(24):43-46.

[3]沈玲,马莉.我的院士之路——著名半导体与信息专家王守觉自述[J].苏南科技开发,2005(02):55-56.

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包括两名院士在内的一批大咖，齐聚一场在坪山举行的高端研讨会，半导体创新发展是主角。5月31日，2022年深圳市坪山区半导体产业创新发展高端研讨会在坪山区创新广场东部之芯成功举行，以此促进产业科研成果与坪山区优势资源高效对接。研讨会的主题为“科技创芯·智汇坪山”，由广东省半导体行业协会主办，得到坪山区工业和信息化局的支持。

高端研讨会现场

坪山区一届政协主席陈主，坪山区副区长吴志柳，广东省半导体行业协会会长许生，深圳大学微电子研究院及半导体制造研究院院长王序进院士，加拿大工程院院士、阿尔伯塔大学教授、深圳大学材料学院特聘教授骆静利，坪山区工业和信息化局副局长张亮，坪山区发展和改革局副局长邓飞，坪山区产业资本投资有限公司负责人蓝澜女士，广东省半导体行业协会执行会长连波、副会长郭灏明，深圳市紫金港资本管理有限公司合伙人刘俊等出席。广东省半导体行业协会常务副会长吕建新主持。

部分嘉宾合影

许生从区域政策、产业环境、院士学术及产业投资四个角度解读了本次高端研讨会举行的意义。

许生

吴志柳介绍了坪山区发展定位及在半导体领域的最新发展情况，他表示，坪山区近年来以半导体与集成电路制造为核心，以中芯国际“8+12英寸”生产线、荣耀全球制造中心等重大项目为抓手，集聚了中芯国际、昂纳信息、金泰克、泰思特、基本半导体、安培龙、君正时代、芯邦科技等为代表的80余家半导体与集成电路优质企业，希望借助研讨会等交流平台，探讨半导体产业应用新突破，共同推动产业创新发展。

吴志柳

王序进院士介绍了自己在半导体领域三十年的海外工作经历以及深圳大学微电子研究院及半导体制造研究院的主要研究方向和最新进展，并对当前半导体产业存在的问题和发展方向提出自己的看法和建议，希望未来在产业、人才等多方面为半导体产业的发展贡献力量。

王序进

骆静利院士是电化学及燃料电池领域的顶级专家，目前有多个研究方向有望解决国家关键材料卡脖子问题，希望进一步与业界对接，加速研究的产业化。

骆静利

主题分享环节，中国汽车工程研究院股份有限公司电子通信与软件测评研究中心主任雷剑梅作了以《汽车缺芯之痛带来的思考》为主题的精彩报告，分析了中国汽车缺芯的原因及影响，深入分析了汽车芯片的特点，以及测评标准体系，并提出汽车缺芯现状的有效应对策略。

雷剑梅

哈尔滨工业大学材料科学与工程学院吴向方教授，作了《半导体设备自主可控：从学术到产业化之路》主题报告。吴向方介绍了他在半导体科研教学与技术服务方面的主要工作和成果。

吴向方

深圳市纳诺斯精密机械技术有限公司首席科学家董志安做《突破工艺关键难点·推动发挥金刚石半导体材料之优势·助力国家于半导体科技实现弯道超车的可能》主题报告，报告基于第三代半导体材料，介绍了金刚石半导体材料的优势，以及纳诺斯在该领域的优势与成果。

董志安

坪山区工业和信息化局张亮副局长介绍了坪山半导体产业现状、发展规划及政策。坪山半导体产业的特点主要有：相对完善、特色鲜明、方向明确、不断创新。聚焦半导体产业，坪山已经落地半导体企业100家，行业产值接近200亿，未来产值规模会持续扩大。

张亮

自由研讨交流环节，世界韩人贸易协会深圳分会会长、旭龙昇国际董事长申铉国、吴向方教授、首席科学家董志安、桂林奇宏科技有限公司董事长王世其、深圳市傲立电子有限公司总经理朱伟康进行了“坪山新能源及半导体‘引智共进’发展”为主题的研讨，深度剖析了坪山半导体产业的发展格局，为坪山新能源及半导体的发展提出建议。

高端研讨会研讨环节

深圳市紫金港资本管理有限公司合伙人刘俊主持了以“坪山创业及投资发展机会”为主题的研讨环节，深圳华创芯光科技有限公司董事长朱斌斌、迈微思（深圳）科技有限公司总经理韦大成、艾贝科技（深圳）有限公司董事长李俊祥、深圳市基准半导体有限公司董事长田建平及深圳泰研半导体装备有限公司总经理张少波参与研讨。各位嘉宾从创业及投资角度展开了热烈的研讨，分享了半导体创投心得及发展机会。

自由研讨的最后一个环节，以“新能源与半导体产业优质项目落地坪山可行性”为主题，由深圳航天科技创新研究院总工、广东省半导体行业协会执行会长连波主持，雷剑梅主任、航天安华（深圳）科技有限公司总经理刘勇、苏州宽温电子科技有限公司董事长张立军、华安芯科技（深圳）有限公司副总经理黄辉参与了研讨，对新能源汽车、功率半导体及电控技术等领域进行深入交流，各位嘉宾表示后续会进一步加强特定领域的深度合作。

据悉，本次高端研讨会精彩纷呈，围绕半导体行业的发展趋势、核心热点、合作机遇进行研讨，打造了一个集科研、产业、政策、投资于一体的资源合作交流平台，有效促进产业科研成果与坪山区的优势资源高效对接，共同推动半导体产业创新发展。

（原标题《半导体创新发展成主角，院士大咖齐聚坪山这个高端研讨会》）

见习编辑 欧阳晨煜 审读 刘春生 审核 张雪松